MOCVD-യ്‌ക്കുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് ഉള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റർ

ഉല്പന്നങ്ങൾ വിവരങ്ങൾ

SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് MOCVD ഹീറ്റർ, ഗ്രാഫൈറ്റിന്റെ മികച്ച താപ ചാലകതയെ SiC കോട്ടിംഗുകളുടെ ഉയർന്ന താപനിലയും നാശന പ്രതിരോധവും സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ വേഫർ എപ്പിറ്റാക്സി വളർച്ചാ പ്രക്രിയകളിൽ സ്ഥിരതയും ഉയർന്ന ശുദ്ധതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ലോഹ-ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (MOCVD) ഉപകരണങ്ങളിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് MOCVD ഹീറ്റർ ഉൽപ്പന്ന സവിശേഷതകൾ

1. അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റിയും രാസ സ്ഥിരതയും

ശുദ്ധത ≥99.99995%: ഞങ്ങളുടെ ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റർ സിവിഡി പ്രക്രിയയിലൂടെ ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ക്ലോറിനേഷനിൽ തയ്യാറാക്കപ്പെടുന്നു, ഇത് ലോഹ മാലിന്യ മലിനീകരണം ഫലപ്രദമായി ഒഴിവാക്കുകയും സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ അൾട്രാ-ക്ലീൻ പരിസ്ഥിതികൾക്കായുള്ള ആവശ്യം നിറവേറ്റുകയും ചെയ്യുന്നു.

രാസ വിരുദ്ധ നാശന പ്രതിരോധം: SiC കോട്ടിംഗിന്റെ സാന്ദ്രവും ഉയർന്ന കാഠിന്യവും (വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം 2500-2800) ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ, ലവണങ്ങൾ, ജൈവ ലായകങ്ങൾ എന്നിവയുടെ നാശത്തെ ചെറുക്കാൻ കഴിയും, ഇത് നാശകാരിയായ വാതക അന്തരീക്ഷത്തിൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവന ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

2. മികച്ച ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം

ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത: നിഷ്ക്രിയ അന്തരീക്ഷത്തിൽ 3000°C വരെയും, വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ 2200°C വരെയും സ്ഥിരതയുള്ള പ്രവർത്തനത്തെയും, ഓക്സിഡൈസിംഗ് പരിതസ്ഥിതിയിൽ 1600-1700°C വരെയും ഇത് നേരിടാൻ കഴിയും, ഇത് MOCVD റിയാക്ഷൻ ചേമ്പറിന്റെ അങ്ങേയറ്റത്തെ അവസ്ഥകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.

കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്ററിന്റെ ഈ സവിശേഷത താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾ മൂലമുള്ള കോട്ടിംഗിന്റെ വിള്ളലോ അടർന്നുവീഴലോ ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കുന്നു, ദീർഘകാല താപ ചക്രത്തിൽ ഘടനാപരമായ സമഗ്രത ഉറപ്പാക്കുന്നു.

3. ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത താപ മാനേജ്മെന്റ് പ്രകടനം

ഉയർന്ന താപ ചാലകത (200-300 W/mK): ഗ്രാഫൈറ്റ് MOCVD ഹീറ്ററിന്റെ ഉയർന്ന താപ ചാലകത, ഉൽപ്പന്നത്തിന് വേഗത്തിലും ഏകീകൃതമായും താപം കൈമാറ്റം ചെയ്ത് സ്ഥിരമായ വേഫർ ഉപരിതല താപനില വിതരണം (±1°C) കൈവരിക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് നിർണ്ണയിക്കുന്നു, അതുവഴി എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളി ഏകീകൃതത ഫലപ്രദമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

ലാമിനാർ ഗ്യാസ് ഫ്ലോ ഫീൽഡ് ഡിസൈൻ: തുടർച്ചയായ സാങ്കേതിക ആവർത്തനത്തിനും അപ്‌ഗ്രേഡിംഗിനും ശേഷം, ഞങ്ങളുടെ MOCVD ഹീറ്റർ ഉപരിതല സുഗമതയും (Ra ≤ 0.8μm) ജ്യാമിതി ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങളുടെ ഏകീകൃത വിതരണം ഉറപ്പാക്കുകയും ടർബുലൻസ് മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഡിപ്പോസിഷൻ നോൺ-യൂണിഫോമിറ്റി കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകളുടെ താരതമ്യവും നേട്ടങ്ങളും

എന്തുകൊണ്ട് സെമിക്സ്ലാബ്?

ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കൽ: സെമിക്സ്ലാബ് ഞങ്ങളുടെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങളും സാങ്കേതിക സേവനങ്ങളും നൽകുന്നതിന് പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്. വൈവിധ്യമാർന്ന ഉപകരണ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി നിലവാരമില്ലാത്ത വലുപ്പങ്ങളുടെയും (360mm വരെ വ്യാസം) കോട്ടിംഗ് കനത്തിന്റെയും (20-500μm) ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കലിനെ ഞങ്ങൾ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.

ഗ്ലോബൽ സർട്ടിഫിക്കേഷൻ: ഞങ്ങളുടെ SiC കോട്ടഡ് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഹീറ്റർ SEMI അനുസൃതവും ISO 9001 സർട്ടിഫൈഡുമാണ്, കൂടാതെ ഞങ്ങളുടെ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ പ്രധാനമായും യൂറോപ്പിലേക്കും അമേരിക്കയിലേക്കും ജപ്പാനിലേക്കും ദക്ഷിണ കൊറിയയിലേക്കും കയറ്റുമതി ചെയ്യുന്നു, വില/പ്രകടന നേട്ടത്തിൽ ഗണ്യമായ നേട്ടമുണ്ട്.

സാങ്കേതിക സിനർജി: കോട്ടിംഗ് സാന്ദ്രതയും താപ ആഘാത പ്രതിരോധവും ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് പേറ്റന്റ് നേടിയ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ (CGT കാർബണിന്റെ SiC³ പ്രക്രിയ പോലുള്ളവ) ഉപയോഗിച്ച്, ചൈനയിലെ മികച്ച ഗവേഷണ സ്ഥാപനങ്ങളുമായി സെമിക്സ്ലാബ് വളരെക്കാലമായി അടുത്ത സഹകരണം നിലനിർത്തിയിട്ടുണ്ട്.